1、局部排气

各种电子产品的生产过程不可避免地会排出各种粉尘、有害气体、有害物质，防止在洁净室内扩散、污染的有效方法是在相关设备上采用局部排气方式处理达到标准后排出室外。下列情况的局部系统应独立设置。①排气介质混合后，腐蚀性、毒性、燃烧爆炸的危险性加剧②排气介质中有毒无毒，毒性大不相同③易燃、易爆和一般排气④洁净室排气系统设计时，应采取以下技术措施。为了防止室外气流倒灌流入室内，引起污染和灰尘堆积，常用的防倒灌措施:⑴设置中效过滤器⑶采用止回阀，使用方便但密封性差⑶采用密闭阀、密封性好，但结构复杂⑶采用自制装置等。①含有易燃、易爆的局部排气系统应采用适应排气物质的防火、防爆措施。②排气介质中有害浓度和排出量超过国家或地区有害物排出浓度和排出量规定时，应进行无害化处理，符合标准后排出大气。③含有水蒸气和凝结物质的排气系统应设置坡度和排气口，立即排出凝结液。洁净现场内的换鞋、外套、洗漱、厕所、沐浴等生产辅助房间，应采取通风措施，室内静压值低于洁净区域。洁净室应根据生产工艺要求设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。一般来说，可能散发有害气体或易燃易爆气体的洁净室(区)应设置事故排气装置。排气系统的设备、配管和附件的制作材料、保温材料、涂料，必须根据排气的气体性质、状态等条件选择合适的材质。①排气系统的管道必须采用不燃材料。这里所指的不燃材料是各种类型的金属板材，包括碳钢、不锈钢、有色金属板材，应根据排气性质决定。②排除腐蚀性气体的管道，应采用耐腐蚀难烧材料。这里所指的难烧材料主要是氧指数在32以上的玻璃钢等。③附件、保温材料、消声材料和涂料等采用不燃材料或不燃材料。这里指的不燃材料主要是岩棉、玻璃棉等，不燃材料主要是氧指数在32以上的橡胶海绵、聚氨酯等。2、洁净室排烟设计洁净车间是一个密闭无窗或设有固定窗的房间，安装防排烟系统是确保人员疏散的必要方法之一。《清洁现场设计规定》(GB50073-2001)第6.5.7条规定，清洁现场应避开走廊，设置机械防排烟设施。现摘录《建筑设计防火规范》修订稿草案中的相关规定，供参考。排烟量的确定:设置机械排烟设施的场所，其排烟风扇的排烟量负担防烟区域的排烟时，负担必须在60m3/h/m2以上计算排烟量的2个以上防烟区域的排烟系统时，最大防烟区域的面积必须在120m3/h/m2以上计算排烟量。单台排烟风扇的最小排烟量不得小于7200m3/h。排烟风扇的选择，排烟风扇可采用离心机或排烟专用风扇，风量应考虑10%-20%的漏风量，风压应满足排烟系统最不利环路的要求。在鼓风机入口总管上，设置烟气温度超过280℃自动关闭的防火阀，与排烟鼓风机连锁。

排烟口的设置:排烟口和排烟阀应设置在天花板内的墙面上，与相邻安全出口相邻边缘的水平距离不得小于1.5m，与可燃物体的距离不得小于1.0m的排烟口和排烟阀应平时关闭，设置手动或自动开启装置，排烟口与该防烟区域内最远的水平距离不得超过300m。